Theo Bộ trưởng Bộ Kế hoạch và Đầu tư Nguyễn Chí Dũng, các doanh nghiệp trong hệ sinh thái của Trung tâm Đổi mới Sáng tạo Quốc gia bao gồm cả các doanh nghiệp bán dẫn sẽ được hưởng thuế suất thuế thu nhập doanh nghiệp 10% trong 30 năm kể từ năm đầu tiên có doanh thu, miễn thuế trong 4 năm và giảm 50% số thuế phải nộp không quá 9 năm.